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倍福 XPlanar平面磁懸浮輸送系統(tǒng)助力實(shí)現(xiàn)無磨損晶圓輸送 |
(時(shí)間:2022/7/21 8:27:33) |

XPlanar
助力實(shí)現(xiàn)無磨損晶圓輸送
XPlanar 系統(tǒng)是一款集傳統(tǒng)輸送技術(shù)諸多優(yōu)點(diǎn)于一身的平面磁懸浮產(chǎn)品輸送系統(tǒng),可在半導(dǎo)體設(shè)備制造中為在一個(gè)工具內(nèi)以及在幾臺(tái)設(shè)備之間處理晶圓及其它產(chǎn)品提供了各種全新的選擇:XPlanar 系統(tǒng)的動(dòng)子/托盤運(yùn)動(dòng)是非接觸式的,不會(huì)產(chǎn)生機(jī)械磨損。
針對(duì)特定應(yīng)用布局機(jī)器設(shè)備
XPlanar 系統(tǒng)為用戶根據(jù)自己的個(gè)性化需求布局機(jī)器設(shè)備提供了很大的自由度。XPlanar 平面模塊可以自由拼接成任意幾何形狀的傳輸平面,比如矩形、圓形或樹狀結(jié)構(gòu),幾乎無任何限制。機(jī)器設(shè)備的布局可以完全根據(jù)用戶要求的功能設(shè)計(jì),XPlanar 系統(tǒng)的大小可以完全根據(jù)用戶的要求調(diào)整,幫助用戶避免額外的費(fèi)用支出,節(jié)省寶貴的生產(chǎn)空間。
柔性無磨損工件輸送系統(tǒng)
動(dòng)子托盤按照單獨(dú)定義的路線輸送每個(gè)工件。各個(gè)生產(chǎn)步驟可以根據(jù)需要相互銜接,使得固定的工位序列成為過去。每個(gè)動(dòng)子托盤的運(yùn)動(dòng)相互間可以完全解耦:產(chǎn)品可以相互超車,并且可以在不影響生產(chǎn)流程的情況下從產(chǎn)品流中撤出或進(jìn)入等候區(qū)(例如,用于冷卻)。由于在一個(gè)系統(tǒng)中提供了不同尺寸的動(dòng)子托盤,因此可以同時(shí)生產(chǎn)不同規(guī)格的產(chǎn)品。XPlanar 系統(tǒng)具有卓越的動(dòng)態(tài)性能和機(jī)器人的高精度,是處理不同批量大小和產(chǎn)品規(guī)格變化的高效定位系統(tǒng)。動(dòng)子托盤根據(jù)為每個(gè)產(chǎn)品單獨(dú)定義的復(fù)雜 XY 幾何圖形運(yùn)動(dòng)。
大幅減少清潔和維護(hù)工作量
XPlanar 系統(tǒng)的一大特點(diǎn)就是它能夠大幅減少清潔和維護(hù)工作量。與傳統(tǒng)的輸送系統(tǒng)相比,XPlanar 不需要使用導(dǎo)軌、滑輪或潤(rùn)滑系統(tǒng)。系統(tǒng)所需的定期維護(hù)間隔時(shí)間大幅減少,從而可以顯著提高系統(tǒng)的可用性。系統(tǒng)的另外一個(gè)優(yōu)勢(shì)是:所有平面模塊和動(dòng)子托盤表面都非常光滑,沒有死角。為了在特別苛刻的環(huán)境中使用,XPlanar 平面模塊的表面可以選擇玻璃、不銹鋼或者塑料材質(zhì),方便清潔,無需使用任何清潔劑,也不會(huì)影響動(dòng)子托盤的懸浮性能。
關(guān)于德國(guó)倍福(BECKHOFF)
德國(guó)倍福自動(dòng)化有限公司的總部位于德國(guó)威爾市。公司在世界各地設(shè)有分支機(jī)構(gòu),加上全球的合作伙伴,目前公司業(yè)務(wù)已遍及70多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。
倍福始終以基于PC的自動(dòng)化新技術(shù)作為公司的發(fā)展理念,所生產(chǎn)的工業(yè)PC、 現(xiàn)場(chǎng)總線模塊、驅(qū)動(dòng)產(chǎn)品和 TwinCAT自動(dòng)化軟件構(gòu)成了一套完整的、相互兼容的控制系統(tǒng),可為各個(gè)工控領(lǐng)域提供開放式自動(dòng)化系統(tǒng)和完整的解決方案。30多年來,倍福公司的元件和系統(tǒng)解決方案在世界各地得到了廣泛的應(yīng)用。2001年3月德國(guó)倍福在北京設(shè)立中國(guó)區(qū)第一個(gè)代表處,2007年5月德國(guó)倍福在上海成立獨(dú)資公司,并將中國(guó)區(qū)總部遷至上海。此后公司業(yè)務(wù)進(jìn)入了一個(gè)快速發(fā)展時(shí)期,目前已在北京、廣州、成都、武漢、南京等全國(guó)26個(gè)大中城市設(shè)立了辦 事處。隨著倍福各種具有良好性價(jià)比的新產(chǎn)品、新技術(shù)不斷進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng),其勇于打破傳統(tǒng)控制模式,傾力推廣PC控制技術(shù)的理念已被越來越多的中國(guó)用戶所接受。
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